簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chun-Hui Chung".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="拋光墊有效壽命指標"


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    單晶矽與藍寶石晶圓化學機械平坦化之拋光墊有效壽命指標分析研究
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 溫禪儒 指導教授: 陳炤彰
    • 自遠古時期的銅鏡、玉石、珠寶的研磨拋光到目前次奈米等級的半導體晶圓鏡面拋光,機械式拋光有其一定程度之極限,因此化學機械平坦化(Chemical Mechanical Planarization)是目…
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